是否进口:否 | 产地:日本 | 加工定制:否 |
品牌:日本ulvac | 型号:ST200-A | 测量范围:1Pa |
日本ulvac 热阴极电离真空计 ST200-A
这是“G-TRAN系列多离子测量仪”型传感器的新系列,可与不同测量范围内的测量仪器连接。 这种三极电离真空计不易受到灵敏度损失的影响,即使在真空计的恶劣环境中也能实现***、更准确的真空测量。 延续高寿命和低运行成本的传统理念,我们进行了更加人性化的改进。
用途
用于检查OLED和触摸屏等制造设备的极限压力和过程管理
用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力
用于在含有大量碳氢化合物(油基)的大气中进行测量
用于在真空零件加工过程中切削油和清洁液残留的气氛中进行测量
用于旨在减少真空计测量设备更换频率的真空设备
*在腐蚀性气体(卤素气体)气氛中使用时,请与我们联系。
特点
可以连接具有不同测量范围的仪器:多离子测量仪可根据应用选择测量元件
紧凑:比传统产品小得多(控制器体积减少56%),是世界最小的产品
提高可用性:可通过连接到PC或智能手机进行设***设置,状态检查等
增强阵容:除了模拟输出(ST200-A)和串行通信(ST200-R)外,还将增加EtherCAT(ST200-E)。
全球***三极管金属电离真空计(***申请中):真空计即使在恶劣环境中也使用寿命长
灯丝寿命通知功能:灯丝功率监控允许提前通知灯丝寿命
压力测量范围广:从大气压力测量到高真空范围(1×10+5~1×10-5 Pa)(带可选装置SWU10-R连接)
***的大气压力测量:腔室开口的大气压力检查(连接到可选装置SAU时)
日本ulvac皮电离真空计ST200-A / R / E
规范
型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E (待发布) |
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规范 | 标准规格 | 串行通信规范 | 以太网CAT规格 |
自适应多离子计传感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | ||
可连接的传感器 | 多离子计传感器:1 皮拉尼压力计 SWU10-R:1 (可选) 大气压力传感器 SAU:1(可选) | ||
重复性(N2) | ST200 单模:±2% | ||
采样时间 | 60ms 5 移动平均处理 | ||
测量值输出 | 输出电压 DC 0~10V LOG 输出 0.75V/1 位压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25 )/0.75+2} | ||
更新时间 | 60毫秒 | ||
控制输入信号 | 在FIL开/关,FIL 1/2,脱气开/关 集电极开路输入,负逻辑下工作 | - | - |
控制输出信号 | 传感器误差,设定值 1/2/3,发射验证,灯丝功率监控 额定值: 24V, 50mA, 饱和电压 1V | - | - |
串行通信规范 | - | RS232C/RS-485 | 以太猫 |
发光二极管显示屏 | 电源/错误:电源、错误 LED(闪烁状态根据每种模式而变化) | ||
发射电流 | 2mA (1×10-2 Pa 或***),10μA (1×10-2Pa 或更好) | ||
德加 | 电子轰击系统,发射电流2mA,电网电压约330V | ||
传感器耐压 | 2×10+5Pa(压力) * 法兰和夹具等耐压性必须单独考虑 | ||
传感器内部容积 | 17厘米3(SWT-16),19厘米3(SWT-25) | ||
工作温度范围 | 10~50°C | ||
工作湿度范围 | 15~80%(无冷凝) | ||
储存温度 | -20~65°C(不通电时,无冷凝) | ||
知识产权防护等级 | IP30 防护等级 | ||
电源电压 | DC20~28V(纹波、噪声1%以下)
8W以下 | ||
输入/输出连接器 | D-sub15 针(M2.6 螺钉) | ||
质量 | 控制器:约280g 测量装置(SWT-16,SWT-25):80g | ||
尺寸 W×D×H | 69毫米×63毫米×90毫米(控制器) | ||
合规标准 | 行政长官 | ||
操作 | 多离子计传感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) 材料: 灯丝 : Ir/Y2O3 涂层 其他: 钯钼, SUS304, W, 科瓦尔玻璃, 科瓦尔/镍电镀 | |
皮拉尼量规 | SWU10-R * 还支持常规 SPU。 | ||
皮拉尼仪表传感器 | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 管端), SWP-P15(Φ15 管端), SWP-CF16(ICF034) 材料: 长丝铂, 其他-BS/Ni, 电镀, 镍, 焊料 | ||
大气压力传感器 | 不锈钢(NW16) 材质:不锈钢316L | ||
单元电缆 | GUC-200P (用于西南大学): 0.5米, 1米, 2米 GUC-200A (用于西南大学): 0.5米, 1米, 2米 | ||
显示单元 | 1路:ISG1(使用DC24V电源) | ||
显示单元电缆 | SH200~显示单元电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | ||
连接器 | 输入/输出连接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺钉)) | ||
其他 | 检验证书、一般校准测试报告、JCSS校准证书 |