| 是否进口：否 | 产地：日本 | 加工定制：否 |
| 品牌：日本ulvac | 型号：ST200-A | 测量范围：1Pa |
日本ulvac 热阴极电离真空计 ST200-A
这是“G-TRAN系列多离子测量仪”型传感器的新系列，可与不同测量范围内的测量仪器连接。 这种三极电离真空计不易受到灵敏度损失的影响，即使在真空计的恶劣环境中也能实现***、更准确的真空测量。 延续高寿命和低运行成本的传统理念，我们进行了更加人性化的改进。
用途
用于检查OLED和触摸屏等制造设备的极限压力和过程管理
用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力
用于在含有大量碳氢化合物（油基）的大气中进行测量
用于在真空零件加工过程中切削油和清洁液残留的气氛中进行测量
用于旨在减少真空计测量设备更换频率的真空设备
*在腐蚀性气体（卤素气体）气氛中使用时，请与我们联系。
特点
可以连接具有不同测量范围的仪器：多离子测量仪可根据应用选择测量元件
紧凑：比传统产品小得多（控制器体积减少56%），是世界最小的产品
提高可用性：可通过连接到PC或智能手机进行设***设置，状态检查等
增强阵容：除了模拟输出（ST200-A）和串行通信（ST200-R）外，还将增加EtherCAT（ST200-E）。
全球***三极管金属电离真空计（***申请中）：真空计即使在恶劣环境中也使用寿命长
灯丝寿命通知功能：灯丝功率监控允许提前通知灯丝寿命
压力测量范围广：从大气压力测量到高真空范围（1×10+5~1×10-5 Pa）（带可选装置SWU10-R连接）
***的大气压力测量：腔室开口的大气压力检查（连接到可选装置SAU时）
日本ulvac皮电离真空计ST200-A / R / E
规范
| 型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E （待发布） |
|---|---|---|---|
| 规范 | 标准规格 | 串行通信规范 | 以太网CAT规格 |
| 自适应多离子计传感器 | SWT-16（NW16）， SWT-25（NW25） | ||
| 可连接的传感器 | 多离子计传感器：1 皮拉尼压力计 SWU10-R：1 （可选） 大气压力传感器 SAU：1（可选） | ||
| 重复性（N2) | ST200 单模：±2% | ||
| 采样时间 | 60ms 5 移动平均处理 | ||
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0~10V LOG 输出 0.75V/1 位压力转换公式 V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25 ）/0.75+2} | ||
| 更新时间 | 60毫秒 | ||
| 控制输入信号 | 在FIL开/关，FIL 1/2，脱气开/关 集电极开路输入，负逻辑下工作 | - | - |
| 控制输出信号 | 传感器误差，设定值 1/2/3，发射验证，灯丝功率监控 额定值： 24V， 50mA， 饱和电压 1V | - | - |
| 串行通信规范 | - | RS232C/RS-485 | 以太猫 |
| 发光二极管显示屏 | 电源/错误：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化） | ||
| 发射电流 | 2mA （1×10-2 Pa 或***），10μA （1×10-2Pa 或更好） | ||
| 德加 | 电子轰击系统，发射电流2mA，电网电压约330V | ||
| 传感器耐压 | 2×10+5Pa（压力） * 法兰和夹具等耐压性必须单独考虑 | ||
| 传感器内部容积 | 17厘米3（SWT-16），19厘米3（SWT-25） | ||
| 工作温度范围 | 10~50°C | ||
| 工作湿度范围 | 15~80%（无冷凝） | ||
| 储存温度 | -20~65°C（不通电时，无冷凝） | ||
| 知识产权防护等级 | IP30 防护等级 | ||
| 电源电压 | DC20~28V（纹波、噪声1%以下）
8W以下 | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub15 针（M2.6 螺钉） | ||
| 质量 | 控制器：约280g 测量装置（SWT-16，SWT-25）：80g | ||
| 尺寸 W×D×H | 69毫米×63毫米×90毫米（控制器） | ||
| 合规标准 | 行政长官 | ||
操作 | 多离子计传感器 | SWT-16（NW16）， SWT-25（NW25） 材料： 灯丝 ： Ir/Y2O3 涂层 其他： 钯钼， SUS304， W， 科瓦尔玻璃， 科瓦尔/镍电镀 | |
| 皮拉尼量规 | SWU10-R * 还支持常规 SPU。 | ||
| 皮拉尼仪表传感器 | SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18 管端）， SWP-P15（Φ15 管端）， SWP-CF16（ICF034） 材料： 长丝铂， 其他-BS/Ni， 电镀， 镍， 焊料 | ||
| 大气压力传感器 | 不锈钢（NW16） 材质：不锈钢316L | ||
| 单元电缆 | GUC-200P （用于西南大学）： 0.5米， 1米， 2米 GUC-200A （用于西南大学）： 0.5米， 1米， 2米 | ||
| 显示单元 | 1路：ISG1（使用DC24V电源） | ||
| 显示单元电缆 | SH200~显示单元电缆 2m， 5m， 10m， 15m， 20m， 25m， 30m， 35m， 40m | ||
| 连接器 | 输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺钉）） | ||
| 其他 | 检验证书、一般校准测试报告、JCSS校准证书 |
