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日本ulvac 热阴极电离真空计 ST200-A

日本ulvac 热阴极电离真空计 ST200-A

这是“G-TRAN系列多离子测量仪”型传感器的新系列,可与不同测量范围内的测量仪器连接。这种三极电离真空计不易受到灵敏度损失的影响,即使在真空计的恶劣环境中也能实现***、更准确的真空测量。延续高寿命和低运行成本的传统理念,我们进行了更加人性化的改进。

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    广东 深圳 龙岗区 和健云谷2栋1002
是否进口:否产地:日本加工定制:否
品牌:日本ulvac型号:ST200-A 测量范围:1Pa

日本ulvac 热阴极电离真空计 ST200-A 


这是“G-TRAN系列多离子测量仪”型传感器的新系列,可与不同测量范围内的测量仪器连接。 这种三极电离真空计不易受到灵敏度损失的影响,即使在真空计的恶劣环境中也能实现***、更准确的真空测量。 延续高寿命和低运行成本的传统理念,我们进行了更加人性化的改进。

用途

  • 用于检查OLED和触摸屏等制造设备的极限压力和过程管理

  • 用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力

  • 用于在含有大量碳氢化合物(油基)的大气中进行测量

  • 用于在真空零件加工过程中切削油和清洁液残留的气氛中进行测量

  • 用于旨在减少真空计测量设备更换频率的真空设备

*在腐蚀性气体(卤素气体)气氛中使用时,请与我们联系。

特点

  • 可以连接具有不同测量范围的仪器:多离子测量仪可根据应用选择测量元件

  • 紧凑:比传统产品小得多(控制器体积减少56%),是世界最小的产品

  • 提高可用性:可通过连接到PC或智能手机进行设***设置,状态检查等

  • 增强阵容:除了模拟输出(ST200-A)和串行通信(ST200-R)外,还将增加EtherCAT(ST200-E)。

  • 全球***三极管金属电离真空计(***申请中):真空计即使在恶劣环境中也使用寿命长

  • 灯丝寿命通知功能:灯丝功率监控允许提前通知灯丝寿命

  • 压力测量范围广:从大气压力测量到高真空范围(1×10+5~1×10-5 Pa)(带可选装置SWU10-R连接)

  • ***的大气压力测量:腔室开口的大气压力检查(连接到可选装置SAU时)

日本ulvac皮电离真空计ST200-A / R / E

规范

 

ST200-AST200-RST200-E (待发布)
规范标准规格串行通信规范以太网CAT规格
自适应多离子计传感器SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)

可连接的传感器多离子计传感器:1 皮拉尼压力计 SWU10-R:1
(可选) 大气压力传感器 SAU:1(可选)


重复性(N2)ST200 单模:±2%

采样时间60ms 5 移动平均处理

测量值输出输出电压 DC 0~10V LOG 输出 0.75V/1 位压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25
)/0.75+2}


更新时间60毫秒

控制输入信号在FIL开/关,FIL 1/2,脱气开/关
集电极开路输入,负逻辑下工作
--
控制输出信号传感器误差,设定值 1/2/3,发射验证,灯丝功率监控
额定值: 24V, 50mA,
饱和电压 1V
--
串行通信规范-RS232C/RS-485以太猫
发光二极管显示屏电源/错误:电源、错误 LED(闪烁状态根据每种模式而变化)

发射电流2mA (1×10-2 Pa 或***),10μA (1×10-2Pa 或更好)

德加电子轰击系统,发射电流2mA,电网电压约330V

传感器耐压2×10+5Pa(压力) * 法兰和夹具等耐压性必须单独考虑

传感器内部容积17厘米3(SWT-16),19厘米3(SWT-25)

工作温度范围10~50°C

工作湿度范围15~80%(无冷凝)

储存温度-20~65°C(不通电时,无冷凝)

知识产权防护等级IP30 防护等级

电源电压DC20~28V(纹波、噪声1%以下)

 

8W以下



输入/输出连接器D-sub15 针(M2.6 螺钉)

质量控制器:约280g 测量装置(SWT-16,SWT-25):80g

尺寸 W×D×H69毫米×63毫米×90毫米(控制器)

合规标准行政长官





操作
多离子计传感器SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
材料: 灯丝 : Ir/Y2O3 涂层
其他: 钯钼, SUS304, W, 科瓦尔玻璃, 科瓦尔/镍电镀

皮拉尼量规SWU10-R * 还支持常规 SPU。

皮拉尼仪表传感器SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 管端), SWP-P15(Φ15 管端), SWP-CF16(ICF034)
材料: 长丝铂, 其他-BS/Ni, 电镀, 镍, 焊料


大气压力传感器不锈钢(NW16) 材质:不锈钢316L

单元电缆GUC-200P (用于西南大学): 0.5米, 1米, 2米 GUC-200A (用于西南大学): 0.5米, 1米, 2米

显示单元1路:ISG1(使用DC24V电源)

显示单元电缆SH200~显示单元电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m


连接器输入/输出连接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺钉))

其他检验证书、一般校准测试报告、JCSS校准证书



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