| 是否进口：否 | 产地：日本 | 品牌：日本SEM |
| 型号：SELN-001B | 测量精度：±0.01mm/m | 长度：±5°mm |
二轴精密水平仪 SELN-001B 在半导体设备制造中的运用案例
案例背景
在半导体制造过程中，设备的水平度对晶圆加工精度至关重要。任何微小的水平偏差都可能导致产品缺陷，因此需要高精度水平仪进行测量和调整。
应用场景
光刻机水平校准
问题：光刻机在曝光过程中需要极高的水平精度，以确保图案转移的准确性。
解决方案：使用 SELN-001B 对光刻机平台进行双轴水平测量，快速发现并调整水平偏差。
效果：***提高了曝光图案的精度，减少了产品缺陷率。
晶圆切割机安装调试
问题：新安装的晶圆切割机需要***水平校准，以确保切割精度。
解决方案：在安装过程中，使用 SELN-001B 对切割机底座进行水平测量和调整。
效果：确保了切割机的水平度，提高了切割精度和良品率。
CMP设备维护
问题：化学机械抛光（CMP）设备在长时间运行后可能出现水平偏差，影响抛光均匀性。
解决方案：定期使用 SELN-001B 对 CMP 设备进行水平检测和校准。
效果：保持了设备的水平精度，确保了抛光过程的均匀性和一致性。
封装设备水平监测
问题：半导体封装设备需要保持高水平精度，以确保封装质量。
解决方案：在生产过程中，使用 SELN-001B 实时监测封装设备的水平状态。
效果：及时发现并纠正水平偏差，提高了封装质量和产品可靠性。
具体操作步骤
准备工作：确保测量环境稳定，避免振动和气流干扰。
设备安装：将 SELN-001B 水平仪放置在待测设备的关键位置，如平台或底座。
开机校准：启动水平仪并进行自动校准，确保测量基准准确。
数据读取：观察 LCD 显示屏上的水平度数据，记录 X 轴和 Y 轴的偏差值。
调整设备：根据测量结果，使用调节螺丝或其他调整工具对设备进行水平校正。
验证测量：调整后再次使用 SELN-001B 进行测量，确保水平度达到要求。
结论
SELN-001B 二轴精密水平仪在半导体设备制造中发挥了重要作用，通过高精度的水平测量和调整，确保了设备的稳定性和产品的质量。其双轴测量功能和用户友好设计使其成为半导体制造过程中不可或缺的工具。
