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日本ULAVC制造设备的到达压力检测用热阴极电离真空计ST200-A/R/E

日本ULAVC制造设备的到达压力检测用热阴极电离真空计ST200-A/R/E

这是G-Tran系列多离子量表的新系列,这是一种传感器类型,允许连接不同测量范围的仪器。这种三极管型电离真空表降低了降低灵敏度的可能性,即使在恶劣的真空测量仪的环境中,也可以进行***,更准确的真空测量。我们进行了更加用户友好的改进,同时继续传统的

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  • 地   址:
    广东 深圳 龙岗区 和健云谷2栋1002
是否进口:否产地:日本加工定制:否
品牌:日本ULAVC型号:ST200-A/R/E测量范围:2×10 +5 PAPa
产品适用范围:热阴极电离真空计



这是G-Tran系列多离子量表的新系列,这是一种传感器类型,允许连接不同测量范围的仪器。这种三极管型电离真空表降低了降低灵敏度的可能性,即使在恶劣的真空测量仪的环境中,也可以进行***,更准确的真空测量。我们进行了更加用户友好的改进,同时继续传统的寿命和低运营成本的概念。



特征

  • 提高的可用性:可以通过连接到PC/智能手机来设置设***和状态检查

  • 灯丝生命通知功能:通过监视细丝的力量,您可以事先通知细丝寿命。

  • 可以连接具有不同测量范围的测量设备:多离子量规允许您根据应用选择测量设备

  • 紧凑:比传统产品的尺寸明显小(由控制器量减少了56%),这是世界上最小的类别

  • 扩展阵容:除了模拟输出规格(ST200-A)和串行通信规范(ST200-R)外,还将添加EtherCAT规范(ST200-E)

  • 世界上***个三极管金属电离真空量规(申请***):即使在恶劣的环境中,真空仪表也能实现长寿

  • 宽范围的压力测量:可以在高真空区域(1×10 +5至1×10 -5 pa)中进行测量(当可选单位SWU10 -R时)

  • 准确的大气压测量:可以检查大气压以进行腔室开口(连接可选的单位SAU时)





用途

  • 用于检查制造设备的到达压力和过程管理,例如有机EL和触摸面板

  • 用于检查各种工业真空设备(例如真空炉)的到达压力

  • 用于在大气中测量许多烃(油基)

  • 用于在真空零件处理过程中切割油和清洁液保留的大气中的测量

  • 对于旨在减少真空量规测量设备的频率的真空设备。

*如果您在腐蚀气体(卤素气)气氛中使用该产品,请咨询我们。





规格

模型ST200-AST200-RST200-E(计划发布)
规格标准规格串行通信规范Ethercat规范
自适应多离子量规传感器SWT-16(NW16),SWT-25(NW25)

可连接的传感器多离子量规传感器:1
Pirani Gauge SWU10-R:1(可选)
大气压传感器SAU:1(可选)


可重复性(n 2ST200单模式:±2%

抽样时间60ms 5移动平均处理

测量值输出输出电压DC 0至10V log输出0.75V/单数
压力转换公式v = 7.25+0.75×(logp-2)p = 10^{(V-7.25)/0.75+2}


更新时间60msec

控制输入信号FIL ON/OFF,DEGA ON/OFF通过开放收集器输入,负逻辑运行--
控制输出信号传感器误差,设***1/2/3,发射有效,
灯丝功率监控
等级:24V,50mA ,饱和电压1V
--
串行通信规范-RS232C/RS-485以太猫
LED显示电源/错误:功率,错误LED(闪烁状态的变化,取决于模式)

排放电流2MA(1×10 -2 PA或更少),10μA(1×10 -2 PA或更多)

degas电子轰炸系统,发射电流2MA,网格电压约330V

传感器压力阻力2×10 +5 PA(压力) *法兰和夹具的压力电阻必须分别考虑。

传感器音量17cm 3(SWT-16),19cm 3(SWT-25)

工作温度范围10-50℃

湿度范围15-80%(但不是凝结)

存储温度-20至65°C(未通电时无凝结)

IP保护等级IP30

电源电压DC20-28V(波纹,噪声低于1%)

8W或更少



输入/输出连接器D-Sub 15针(M2.6螺钉)

大量的控制器:大约280克测量元素(SWT-16,SWT-25):80G

外部尺寸W×D×H69mm x 63mm x 90mm(控制器)

合规标准CE

选项



多离子量规传感器SWT-16(NW16),SWT-25(NW25)
材料:细丝:IR/Y 2 O 3外套
其他:PTC-MO,SUS304,W,Kovar Glass,Kovar/Kovar/Ni Plating

Pirani GaugeSWU10-R *也与常规SPU兼容

Pirani量规传感器SWP-16 (NW16), SWP-25 (NW25), SWP-R1/8 (R1/8), SWP-P18 (Φ18 pipe end), SWP-P15 (Φ15 pipe end), SWP-CF16 (ICF034)
Material: Filament - Pt, Others - BS/Ni, Plating, Ni, solder


大气压力传感器SAU(NW16)材料:SUS316L

单元电缆GUC-200p(适用于SWU):0.5m,1m,2m
GUC-200A(SAU):0.5m,1m,2m


显示单元1CH:ISG1(使用DC24V电源)

显示单元电缆SH200显示单元电缆
2m,5m,10m,15m,20m,25m,30m,35m,40m,40m


连接器输入/输出连接器(D-Sub15-sket(M2.6mm螺钉))

其他的检查报告,一般校准测试报告,JCSS校准证书


每个模式规范

可以从三种使用方法中选择ST200-A/ST200-R/ST200-E:多弹性仪表单模式,具有Pirani仪表的组合模式以及带有Pirani仪表和大气压力传感器的三组合模式。

模式ST200-A/ST200-R/ST200-E
单模式
ST200-A/ST200-R/ST200-E
+ SWU10-R
组合模式
ST200-A/ST200-R/ST200-E
+ SWU10-R + SAU
组合模式
测量压力范围1.0×10 -5至1.0×10 +1 PA1.0×10 -5至1.0×10 +5 PA1.0×10 -5至1.0×10 +5 PA
测量精度1.0×10 -4至3.0×10 +0 PA:
±10%
1.0×10 -4至1.0×10 +4 PA:±10%
1.0×10 +4至1.0×10 +5 PA:±20%
1.0×10 -4至1.0×10 +4 PA:±10%
1.0×10 +4至3.0×10 +5 PA:±3%FS(3.0×10 +3 PA ?标准温度25℃)




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