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≥2000
是否进口:否 | 产地:日本 | 加工定制:否 |
品牌:日本ULAVC | 型号:ST200-A/R/E | 测量范围:2×10 +5 PAPa |
产品适用范围:热阴极电离真空计 |
这是G-Tran系列多离子量表的新系列,这是一种传感器类型,允许连接不同测量范围的仪器。这种三极管型电离真空表降低了降低灵敏度的可能性,即使在恶劣的真空测量仪的环境中,也可以进行***,更准确的真空测量。我们进行了更加用户友好的改进,同时继续传统的寿命和低运营成本的概念。
特征
提高的可用性:可以通过连接到PC/智能手机来设置设***和状态检查
灯丝生命通知功能:通过监视细丝的力量,您可以事先通知细丝寿命。
可以连接具有不同测量范围的测量设备:多离子量规允许您根据应用选择测量设备
紧凑:比传统产品的尺寸明显小(由控制器量减少了56%),这是世界上最小的类别
扩展阵容:除了模拟输出规格(ST200-A)和串行通信规范(ST200-R)外,还将添加EtherCAT规范(ST200-E)
世界上***个三极管金属电离真空量规(申请***):即使在恶劣的环境中,真空仪表也能实现长寿
宽范围的压力测量:可以在高真空区域(1×10 +5至1×10 -5 pa)中进行测量(当可选单位SWU10 -R时)
准确的大气压测量:可以检查大气压以进行腔室开口(连接可选的单位SAU时)
用途
用于检查制造设备的到达压力和过程管理,例如有机EL和触摸面板
用于检查各种工业真空设备(例如真空炉)的到达压力
用于在大气中测量许多烃(油基)
用于在真空零件处理过程中切割油和清洁液保留的大气中的测量
对于旨在减少真空量规测量设备的频率的真空设备。
*如果您在腐蚀气体(卤素气)气氛中使用该产品,请咨询我们。
规格
模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E(计划发布) |
规格 | 标准规格 | 串行通信规范 | Ethercat规范 |
自适应多离子量规传感器 | SWT-16(NW16),SWT-25(NW25) | ||
可连接的传感器 | 多离子量规传感器:1 Pirani Gauge SWU10-R:1(可选) 大气压传感器SAU:1(可选) | ||
可重复性(n 2) | ST200单模式:±2% | ||
抽样时间 | 60ms 5移动平均处理 | ||
测量值输出 | 输出电压DC 0至10V log输出0.75V/单数 压力转换公式v = 7.25+0.75×(logp-2)p = 10^{(V-7.25)/0.75+2} | ||
更新时间 | 60msec | ||
控制输入信号 | FIL ON/OFF,DEGA ON/OFF通过开放收集器输入,负逻辑运行 | - | - |
控制输出信号 | 传感器误差,设***1/2/3,发射有效, 灯丝功率监控 等级:24V,50mA ,饱和电压1V | - | - |
串行通信规范 | - | RS232C/RS-485 | 以太猫 |
LED显示 | 电源/错误:功率,错误LED(闪烁状态的变化,取决于模式) | ||
排放电流 | 2MA(1×10 -2 PA或更少),10μA(1×10 -2 PA或更多) | ||
degas | 电子轰炸系统,发射电流2MA,网格电压约330V | ||
传感器压力阻力 | 2×10 +5 PA(压力) *法兰和夹具的压力电阻必须分别考虑。 | ||
传感器音量 | 17cm 3(SWT-16),19cm 3(SWT-25) | ||
工作温度范围 | 10-50℃ | ||
湿度范围 | 15-80%(但不是凝结) | ||
存储温度 | -20至65°C(未通电时无凝结) | ||
IP保护等级 | IP30 | ||
电源电压 | DC20-28V(波纹,噪声低于1%) 8W或更少 | ||
输入/输出连接器 | D-Sub 15针(M2.6螺钉) | ||
大量的 | 控制器:大约280克测量元素(SWT-16,SWT-25):80G | ||
外部尺寸W×D×H | 69mm x 63mm x 90mm(控制器) | ||
合规标准 | CE | ||
选项 | 多离子量规传感器 | SWT-16(NW16),SWT-25(NW25) 材料:细丝:IR/Y 2 O 3外套 其他:PTC-MO,SUS304,W,Kovar Glass,Kovar/Kovar/Ni Plating | |
Pirani Gauge | SWU10-R *也与常规SPU兼容 | ||
Pirani量规传感器 | SWP-16 (NW16), SWP-25 (NW25), SWP-R1/8 (R1/8), SWP-P18 (Φ18 pipe end), SWP-P15 (Φ15 pipe end), SWP-CF16 (ICF034) Material: Filament - Pt, Others - BS/Ni, Plating, Ni, solder | ||
大气压力传感器 | SAU(NW16)材料:SUS316L | ||
单元电缆 | GUC-200p(适用于SWU):0.5m,1m,2m GUC-200A(SAU):0.5m,1m,2m | ||
显示单元 | 1CH:ISG1(使用DC24V电源) | ||
显示单元电缆 | SH200显示单元电缆 2m,5m,10m,15m,20m,25m,30m,35m,40m,40m | ||
连接器 | 输入/输出连接器(D-Sub15-sket(M2.6mm螺钉)) | ||
其他的 | 检查报告,一般校准测试报告,JCSS校准证书 |
每个模式规范
可以从三种使用方法中选择ST200-A/ST200-R/ST200-E:多弹性仪表单模式,具有Pirani仪表的组合模式以及带有Pirani仪表和大气压力传感器的三组合模式。
模式 | ST200-A/ST200-R/ST200-E 单模式 | ST200-A/ST200-R/ST200-E + SWU10-R 组合模式 | ST200-A/ST200-R/ST200-E + SWU10-R + SAU 组合模式 |
测量压力范围 | 1.0×10 -5至1.0×10 +1 PA | 1.0×10 -5至1.0×10 +5 PA | 1.0×10 -5至1.0×10 +5 PA |
测量精度 | 1.0×10 -4至3.0×10 +0 PA: ±10% | 1.0×10 -4至1.0×10 +4 PA:±10% 1.0×10 +4至1.0×10 +5 PA:±20% | 1.0×10 -4至1.0×10 +4 PA:±10% 1.0×10 +4至3.0×10 +5 PA:±3%FS(3.0×10 +3 PA ?标准温度25℃) |